1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？
质量流量计，即mass flow meter（缩写为mfm）,是一种测量流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器,即mass flow controller（缩写为mfc）,不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的稳流装置。
2.质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？
(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的mfc/mfm输入输出信号为0~+5v或4~20ma,数字式mfc/mfm还配有rs232或rs485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
(3)地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10mpa;可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如hcl）；有很宽的流量范围，我们的产品小流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~99%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。